六氟化硫氣體檢測儀基于紅外吸收光譜原理的紅外分光光度法來對SF6氣體進(jìn)行分析檢測，利用物質(zhì)對紅外電磁輻射的選擇吸收特性，來對物質(zhì)進(jìn)行定性定量分析，因?yàn)楣廨椛湓跉怏w中傳播時氣體分子會對光輻射檢測吸收，散射而衰減，因此利用氣體在某一特定區(qū)域波段的吸收特性可以實(shí)現(xiàn)對該氣體檢測。該儀器具有靈敏度高、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快、操作簡便、移動范圍大、可迅速、準(zhǔn)確地定性和定量檢測SF6斷路器和GIS的泄漏點(diǎn)和年泄漏率。
六氟化硫氣體檢測儀進(jìn)行檢測的方式主要有以下幾種：
壓降檢測方式：在密封的工件內(nèi)中充入一定壓力的氣體，經(jīng)過一段時間保壓(2-5秒)，檢測壓力是否下降，觀察計算壓力變化來判斷產(chǎn)品是否有泄漏(全過程5-25秒)。此方法氣密性檢測儀配套工裝夾具通用性*，可以適用于半密封產(chǎn)品和全密封產(chǎn)品。還可以在半密封的工件內(nèi)部抽氣成負(fù)壓來檢測產(chǎn)品時候有泄漏。壓降方式效率高、通用性強(qiáng)、檢出率高、無損檢測。其中多通道氣密性檢測儀可以一次同時檢測多個產(chǎn)品，這是目前主流的氣密性檢測儀檢測方式。
差壓氣密性檢測方式：也叫比較法，需要一個標(biāo)準(zhǔn)無泄漏的產(chǎn)品。原理在密閉的待測品內(nèi)通入一定壓力的氣體，同時在一個標(biāo)準(zhǔn)品內(nèi)通入同樣壓力的氣體，靜止一段時間，觀察標(biāo)準(zhǔn)罐體內(nèi)的壓力與工件內(nèi)的壓力差從而判定產(chǎn)品是否泄漏。此氣密性檢測儀檢測方式檢測精度高，但是通用性不強(qiáng)，需要兩個工裝，檢測成本與壓降型相對高一倍，因此市場上主流的氣密性檢測儀檢測方式是壓降型，并集成了正負(fù)壓檢測能力的氣密性測試儀得到了廣泛應(yīng)用及發(fā)展。
氣泡檢測方式：在密封的產(chǎn)品內(nèi)部注入一定壓力的氣體，然后將產(chǎn)品侵入水或者其他液體中，觀察是否有氣泡漏出，或者在產(chǎn)品表面涂抹泡沫液或者肥皂水看是否有氣泡產(chǎn)生。
